The electrical asymmetry effect in electronegative CF4 capa… — ҚазҰУ

The electrical asymmetry effect in electronegative CF4 capacitive RF plasmas operated in the striation mode

2023 · Article
Жарияланымдарға оралу

Жариялану жылы

2023

CiteScore

7,1

SJR

0,771

SNIP

1,4

Авторлар

Дереккөз: Plasma Sources Science and Technology

DOI: 10.1088/1361-6595/acec96

Scopus: Жазбаны Scopus-та ашу

Тұрақты даму мақсаттары (2025)

SDG 7

Білім салалары

Condensed Matter Physics