NANOPARTICLE SYNTHESIS BY THE PECVD METHOD BASED ON RF DISC… — КазНУ

NANOPARTICLE SYNTHESIS BY THE PECVD METHOD BASED ON RF DISCHARGE

2023 · Article
Назад к публикациям

Год публикации

2023

Авторы

Источник: Herald of the Kazakh British Technical UNiversity

DOI: 10.55452/1998-6688-2023-20-2-6-12

Scopus: Открыть в Scopus

Области знаний

Multidisciplinary