NANOPARTICLE SYNTHESIS BY THE PECVD METHOD BASED ON RF DISC… — ҚазҰУ

NANOPARTICLE SYNTHESIS BY THE PECVD METHOD BASED ON RF DISCHARGE

2023 · Article
Жарияланымдарға оралу

Жариялану жылы

2023

Авторлар

Дереккөз: Herald of the Kazakh British Technical UNiversity

DOI: 10.55452/1998-6688-2023-20-2-6-12

Scopus: Жазбаны Scopus-та ашу

Білім салалары

Multidisciplinary